基本信息
- 生产厂商 中科院光电技术研究所和大族激光科技
- 资产编号 F2100287
- 资产负责人 ----
- 购置日期2018-01-01
- 仪器价格2576680.00 万元
- 仪器产地1
- 仪器供应商
- 购买经办人
- 主要配件
- 主要参数P5060-CO2-100-CCD激光切割机
（机床运动速度 0~500 mm/s；实际切割速度高达300 mm/s；
-最大放置工件尺寸（长 mm x 宽 mm） 564 x 674;
-切割幅面 500 x 600 mm （标准）250 x 420 x 2 （双工位）；
-机器重复精度 ≤±0.01 mm； 机器定位精度 ≤±0.02 mm；
-适用材料包含导电膜、触摸屏亚克力及PC基板、电子纸、LCD背光板、SMT罩板等非金属材料）
CNC高速加工中心
（-x/y/z轴行程 710/440/380 mm；
-工作台可承受最大工作重量 300 Kg；
-最高转速 20000 rpm；最大扭力 40 Nm；额定扭力 19 Nm；最大功率 19 Kw； 额定功率 4.8 Kw；
-刀具型式 BT30; 刀库数量 20 Pockets；刀库形式 刀臂式； 最大刀具直径 (满刀/相邻刀) 60/100 mm；
最大刀具长度 210 mm；最大刀具重量 3 Kg；换刀时间 0.95 s；
-切削速度(x/y/z) 48/48/48 m/min；快速移动速度(x/y/z) 48/48/48 m/min；
-定位精度(x/y/z) 0.005/300 mm）
URE——2000/17紫外单面光刻机
（曝光面积 4英寸；曝光波长 365 nm；分辨力 1.5 μm （2μm正胶）； 对准精度 ± 1 μm；
-样品尺寸 直径 Φ 15-100 mm；可适应厚度 0.1-6 mm；
掩膜尺寸 2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
-曝光方式 定时曝光或定剂量曝光；
-双目双视场对准显微镜，可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400 倍，光学+电子放大800 倍；
）
